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超小型低功耗的MEMS测量压力传感器tion

  • • 在-50kPa~+50kPa的压力范围内具有优异的电气特性。
       偏置电压:-2.5±4.0mV
       量程电压:42.0±5.5mV
       (额定压力50kPa、测量电流DC100μA时)
    • 长6.1×宽4.7×高8.2mm的超小型。
    • 温度影响小。
       量程电压:±3.0%FS
       偏置电压:±5.0%FS
       (0~85℃、0~50kPa、测量电流DC100μA时)
    • 0.2mW的低功耗。
  •  
  • 型号 分类 构造 包装形式 最小订购数量
    2SMPP-03 底面端口型 SOP 塑料套筒 112pcs/1个塑料套筒

 

项目 2SMPP-03
压力的种类 注1 仪表压力
传感方式 压电电阻式
压力介质 空气
驱动方式 恒定电流驱动
驱动电流 DC100μA
压力范围 -50 to 50 kPa
耐压 -80 to 120 kPa
最大驱动电流 最大DC200μA
使用环境温度范围 -10~100℃(不结冰、凝露)
使用环境湿度范围 10~95%RH(不结冰、凝露)
储存环境温度范围 -40~120℃(不结冰、凝露)
保存环境湿度范围 10~95%RH(不结冰、凝露)
重量 0.17 g
注1. 上述值为23℃时测量的初始值。
注2. 请勿使用空气以外的腐蚀性气体。


电气特性
正压(0~50kPa)

项目 Min. Typ. Max. 单位
驱动电流 --- 100 --- μADC
仪表电阻值 18.0 20.0 22.0 kohm
压力范围 0 --- 50 kPa
偏置电压 -6.5 -2.5 1.5 mV
量程电压 36.5 42.0 47.5 mV
非线性 0.3 0.8 1.3 %FS
滞后 -0.2 0.0 0.2 %FS
量程电压温度变动 at 0℃ -1.0 1.0 3.0 %FS
量程电压温度变动 at 50℃ -2.1 -0.1 1.9 %FS
量程电压温度变动 at 85℃ -2.0 1.0 4.0 %FS
偏置电压温度变动 at 0℃ -4.0 -1.0 2.0 %FS
偏置电压温度变动 at 50℃ -2.0 1.0 4.0 %FS
偏置电压温度变动 at 85℃ -3.0 2.0 7.0 %FS


负压(-50~0kPa)

项目 Min. Typ. Max. 单位
驱动电流 --- 100 --- μADC
仪表电阻值 18.0 20.0 22.0 kohm
压力范围 -50 --- 0 kPa
偏置电压 -6.5 -2.5 1.5 mV
量程电压 -48.5 -43.0 -37.5 mV
非线性 -0.3 0.2 0.7 %FS
滞后 -0.2 0.0 0.2 %FS
量程电压温度变动 at 0℃ -1.2 0.8 2.8 %FS
量程电压温度变动 at 50℃ -1.9 0.1 2.1 %FS
量程电压温度变动 at 85℃ -1.8 1.2 4.2 %FS
偏置电压温度变动 at 0℃ -4.0 -1.0 2.0 %FS
偏置电压温度变动 at 50℃ -2.0 1.0 4.0 %FS
偏置电压温度变动 at 85℃ -3.0 2.0 7.0 %FS
注1. 上述值为初始值。
注2. 环境温度条件:23℃、不含温度特性。
注3. 上述值为驱动电流100μA时的值。
注4. 上述值为使用0~50kPa、0~-50kPa驱动时的值。
注5. 偏置电压定义为0kPa的输出电压。
注6. 正压侧的量程电压定义为50kPa时的输出电压与0kPa时的输出电压之差。
注7. 负压侧的量程电压定义为-50kPa时的输出电压与0kPa时的输出电压之差。
注8. 滞后的定义如下式所示。
正压侧:{压力循环试验(0~50~0kPa/1次)前后0kPa时的输出电压差}/(量程电压)×100 [%FS].
负压侧:{压力循环试验(0~-50~0kPa/1次)前后0kPa时的输出电压差}/(量程电压)×100 [%FS].
注9. 量程电压温度变动的定义如下式所示。
{量程电压at 0℃-量程电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]
{量程电压at 50℃-量程电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]
{量程电压at 85℃-量程电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]
注10. 偏置电压温度变动的定义如下式所示。
{偏置电压at 0℃-偏置电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]
{偏置电压at 50℃-偏置电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]
{偏置电压at 85℃-偏置电压at 25℃}/量程电压at 25℃×100 [%FS]

 

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